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美国再也管不了中微董事长恢复中国籍带头攻关2纳米刻蚀机

  “硅谷最有成就的华人之一”、“等离子体刻蚀技术宗师”,手握86项美国专利的半导体老兵尹志尧,在中美半导体博弈最激烈的2026年,以一纸国籍恢复公告斩断了与美国的最后法律联系。

  减持29万股股份、支付近1亿元税务代价,这究竟是个人身份的归巢,还是为中国半导体斩断“禁人”枷锁的战略破局?

  1944年生于北京,中科大毕业后进入中科院历练,1980年赴美攻读加州大学博士学位,在英特尔、泛林半导体等顶尖企业深耕多年,成为刻蚀技术领域的核心发明人,手握86项美国专利,被业内称为“等离子体刻蚀技术宗师”。

  2004年,已在硅谷功成名就的他,被国内“豁出半条命也要造中国刻蚀机”的呼唤击中,毅然放弃美国的安逸生活,带着十五人硅谷核心团队回国,在上海创立中微半导体——彼时国内刻蚀机领域,还是一片空白。

  尹志尧带着团队一头扎进实验室,仅用三年,2007年就啃下硬骨头——研制出中国第一代介质刻蚀机,原创的双反应台设计让效率比同类产品高出30%以上,一下子打破了国外垄断。

  2018年更是率先突破5纳米刻蚀技术,直接打入台积电产线,让国际巨头都不得不正视。

  到2025年,团队研发的ICP双反应台刻蚀机精度已达0.1纳米,技术水平稳稳站到国际第一梯队。

  市场也给出反馈,2024年一季度订单量直接激增340%,国产刻蚀机终于从跟跑变成了并跑。

  2022年10月,美国突然甩出一记“精准毒刺”——出台严苛的“美国人条款”。

  这份禁令明确禁止任何美籍人士参与中国先进半导体设备的研发、生产和销售,哪怕只是提供技术咨询都算违规。

  禁令一下,中微内部立刻感受到冲击波:好几位美籍核心工程师被迫离职,他们手里握着刻蚀机精密控制算法的关键代码,走的时候连电脑都不能带走。

  按照禁令要求,他要么放弃中微的领导权,彻底退出技术决策,要么就得和美国划清界限。

  这招比之前的设备禁运、技术封锁阴狠得多——不卡机器,直接卡“大脑”,想通过法律辖制瓦解中国半导体的技术团队。

  他的国籍转变是场持续三年的“平稳过渡”:2022年年报里,他的身份信息还标注着“美国籍”;2023年公司财报悄悄改了规矩,不再披露核心人员国籍;到2024年中微的投资者交流会上,董秘才在问答环节确认——“尹董已正式恢复中国国籍”。

  这三年里,最受关注的是他为履行国籍变更的税务义务,计划减持不超过29万股中微股份。

  这么做就一个目的:彻底解绑美国法律束缚,这样一来,中微的战略决策、技术攻关再也不用看美国脸色,2纳米刻蚀机的研发终于能甩开膀子干。

  这技术直接决定芯片电路的精细程度——线纳米,芯片性能就能提升20%,能耗降低30%,可越往小走,难度越是指数级增长。

  团队现在要闯三道关:物理极限,原子尺度下电子会乱跑,量子隧穿效应让电路“漏电”;工艺窗口极限,刻蚀深度误差不能超过0.5纳米,比头发丝直径的百万分之一还小;设备协同极限,得和光刻机、沉积设备精准“配合”,差一秒就可能毁整片晶圆。

  2025年前三季度,薄膜设备收入一下子涨了1300%,这设备能给芯片“涂保护层”,和刻蚀机形成“一涂一刻”的组合拳。

  研发上更是下了血本,公司申请的专利快到3000项,80%是发明专利,光刻蚀机控制系统的算法专利就有147项,全是团队自己啃出来的硬骨头。

  这三年,中微的刻蚀机零部件车间里,国产电机正驱动着反应台精准转动,90%以上核心部件已实现自主替代,连最难啃的真空泵密封件,也换成了安徽企业的产品。

  2024年春季招聘会,17万份简历涌进HR邮箱,43%来自常春藤留学生,有人在邮件里写“尹董能放弃硅谷,我们为什么不能回来”。

  中微市值突破2100亿元那天,台积电采购经理带着团队来上海,当场签了20台2纳米刻蚀机意向单。

  薄膜设备收入2025年前三季度暴涨1300%的数字背后,是公司从单一设备商向平台型企业转型的底气——现在不仅能刻蚀,还能做薄膜沉积、缺陷检测,一套设备能省客户30%的产线空间。

  最显眼的位置挂着2纳米刻蚀机的核心算法专利,旁边贴着尹志尧手写的纸条:“别想着卡脖子,咱们自己造钥匙。”

  这不是口号,是中微车间里24小时不停的机器轰鸣,是留学生行李箱里装着的技术笔记,是中国半导体终于能和国际巨头坐在一张桌上谈规则的硬气。